Depozice atomových vrstev

Depozice atomových vrstev byla vynalezena před více než 40 lety. V posledních letech je jednou z hlavních aktivačních technologií v moderní výrobě polovodičů.

Výzva

Obecně platí, že pokud se teplota substrátu pohybuje příliš nízko, může se stát, že reakce proběhne pouze částečně. Je-li teplota substrátu příliš vysoká, může dojít k desorpci nebo rozkladu. Abychom přesně zajistili nastavené hodnoty teploty receptury, musíme pečlivě navrhnout a implementovat nástroje pro měření teploty.

Naše řešení

LumaSense nabízí dva typy nástrojů pro měření teploty. Jedním z nich je sledování teploty nástrojem z optických vláken vycházející z technologie Luxtron Fluoroptic. Tento nástroj pracuje se sondou z optických vláken, která je odolná vůči ručení plasmou. Její teplotní rozsah se pohybuje v rozmezí od -100 °C do +330 °C. Druhým typem je radiační pyrometr s optickými vlákny. Obvykle se používá pro teplotní rozsah nad 50 °C, ale zvládne i značně vysoké teploty.

LumaSense umí upravit konstrukci na míru konkrétním aplikacím.

Výhody pro vás

  • Vyšší výnosy
  • Lepší kvalita
  • Funguje v systémech s plazmou