Leptání

LumaSense je předním dodavatelem systémů z optických vláken pro sledování teploty elektrostatického upínacího pouzdra v leptacích systémech.  Naše nástroje nabízejí přesnost nutnou pro nové a nastávající nároky na menší šíři linky, rychlé vzorkovací frekvence zvyšující výkonnost výroby substrátových disků (waferů) a vysokoteplotní rozsah splňující požadavky leptacího stroje. Dále nabízíme sondu „Mix and Match“ a elektronické moduly i vlastní sondy. Máme více jak 25 let zkušeností s integrací teplotních nástrojů z optických vláken do náročných polovodičových aplikací.

Výzva

Dodavatelé leptacího zařízení se musí vyrovnávat s menšími šířkami linky, vyšším výkonem a nároky na spolehlivost. Společnost LumaSense nabízí ty správné produkty i lidi, kteří reagují na překotný vývoj i náročné úkoly konstrukce. Pyšní se více jak 25letou zkušeností se zajišťováním nástrojů pro sledování teploty z optických vláken v oboru leptání.

Naše řešení

LumaSense přináší dvou- a čtyřkanálové OEM moduly série m822 a m600 s bezkontaktními sondami Accudisc a mnoha rozličnými kontaktními sondami pro sledování teploty elektrostatického upínacího pouzdra. Jsme s to sondy upravit podle vašeho konkrétního použití a rovněž vám nabízíme podporu při technické realizaci.

Spojte se prosím s námi. Poskytneme vám o různých sondách pro leptání více informací.

Výhody pro vás

  • Vysoká přesnost a teplotní rozsah pro různé leptací procesy
  • Rychlá vzorkovací frekvence zvyšuje kapacitu výroby substrátových disků (waferů).
  • Vysoká přesnost pro nízkou poruchovost
  • Zajištění vlastních sond upravených na váš proces a vaše zařízení
  • Vysoce zkušená technická i servisní podpora