Řešení pro odvětví integrovaných obvodů

Více jak 30 let zkušeností s výrobci zařízení

Teplota sehrává zásadní úlohu v odvětví s integrovanými obvody. Společnost LumaSense již více jak 30 let spolupracuje s výrobci zařízení na různých aplikacích. Řada výrobků Luxtron od společnosti LumaSense je průkopníkem v technologii měření teploty s optickými vlákny (FOT), která využívá fluorescenci fosforu k měření teploty ve vysokofrekvenčním prostředí a v prostředí s plazmou, vysokým napětím a s indukčními systémy.

Accufiber, nyní součást LumaSense, vyvinula techniku „Ripple Technique“, která řeší jednak rozptýlené záření lamp, jednak neznámé problémy s emisivitou substrátových disků (waferů) v systémech rychlého tepelného zpracování (RTP) zahřívaných lampou.  LumaSense je hlavním dodavatelem pro řadu výrobců vybavení. Provádíme úpravy podle zvláštních potřeb.

Leptání

LumaSense je předním dodavatelem systémů z optických vláken pro sledování teploty elektrostatického upínacího pouzdra v leptacích systémech.  Naše nástroje nabízejí přesnost nutnou pro nové a nastávající nároky na menší šíři linky, rychlé vzorkovací frekvence zvyšující výkonnost výroby substrátových disků (waferů) a vysokoteplotní rozsah splňující požadavky leptacího stroje. Dále nabízíme sondu „Mix and Match“ a elektronické [...]

Depozice atomových vrstev

Depozice atomových vrstev byla vynalezena před více než 40 lety. V posledních letech je jednou z hlavních aktivačních technologií v moderní výrobě polovodičů. Výzva Obecně platí, že pokud se teplota substrátu pohybuje příliš nízko, může se stát, že reakce proběhne pouze částečně. Je-li teplota substrátu příliš vysoká, může dojít k desorpci nebo rozkladu. Abychom přesně [...]